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發(fā)布日期：2023-03-15來(lái)源：東莞智贏
EFEM是半導(dǎo)體設(shè)備的前端模塊，是連接物料搬運(yùn)系統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環(huán)境下傳輸?shù)焦に嚒z測(cè)模塊，是半導(dǎo)體設(shè)備的重要配件。EFEM模塊設(shè)備配備大氣晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，安裝在框架中，框架配備有FFU（風(fēng)扇過(guò)濾器單元）和安裝在前面的裝載端口。智贏提供的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人SR8220系列是EFEM模塊內(nèi)的關(guān)鍵部件。
智贏提供的大氣晶圓搬運(yùn)機(jī)器人SR8220系列保證晶片的快速、穩(wěn)定搬運(yùn)；滿足Class1的潔凈等級(jí)；可以實(shí)現(xiàn)不同品類Whole wafer、Frame wafer、Hoopring wafer的搬運(yùn)。
另外智贏對(duì)于EFEM內(nèi)部結(jié)構(gòu)機(jī)器人還可以提供走行軸結(jié)構(gòu)、手臂翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、伯努利輸運(yùn)結(jié)構(gòu)滿足多種使用工況的要求。
1、 采用2ARM構(gòu)造增大了搬運(yùn)范圍
2、 實(shí)現(xiàn)晶圓的高速傳輸和雙片同取放
3、 確保了超高的直線精度
4、 ARM和Z軸的各種組合以滿足對(duì)應(yīng)各種裝置的需求
5、可同時(shí)適用于4-12英寸的晶圓搬送
1、擁有專業(yè)的軟件技術(shù)團(tuán)隊(duì)，提供高效的技術(shù)服務(wù)支持，以及培訓(xùn)工作。
2、SR8220系列晶圓機(jī)器人作為智贏的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，我們儲(chǔ)備庫(kù)存，縮短交付周期。
3、專業(yè)的工程設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，可以快速實(shí)現(xiàn)多樣化的SR8220系列機(jī)器人升級(jí)改造。
4、技術(shù)人員擁有十幾年的晶圓機(jī)器人應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，專業(yè)的售前指導(dǎo)工作，為客戶提供更優(yōu)的技術(shù)方案。
本文作者·蔣江坤
■ 半導(dǎo)體行業(yè)高級(jí)應(yīng)用工程師
■ 從事智能裝備制造業(yè)12年，擁有豐富的直線電機(jī)和晶圓機(jī)器人行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，可為客戶提供智能控制和運(yùn)動(dòng)部件整體解決方案。
憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力、過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量、優(yōu)質(zhì)的客戶服務(wù)，公司已成為直驅(qū)領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)品牌中的領(lǐng)先者。未來(lái)，公司將繼續(xù)秉持“讓中國(guó)智能裝備與世界同步，為客戶創(chuàng)造更多投資回報(bào)”的企業(yè)使命，堅(jiān)持市場(chǎng)需求引領(lǐng)、品牌服務(wù)支撐、創(chuàng)新技術(shù)驅(qū)動(dòng)，不斷開(kāi)拓進(jìn)取，為我國(guó)智能制造設(shè)備行業(yè)添磚加瓦，助力中國(guó)高端裝備的深度國(guó)產(chǎn)化和智能化轉(zhuǎn)型升級(jí)！
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