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300mm應(yīng)對2~3端口
緊湊的構(gòu)造、很小的占有面積
具有多功能和可回旋的手臂
獨(dú)立的雙驅(qū)動系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)2片同時(shí)取放
和晶圓合同片間距的2片同取放
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