LDI曝光機(jī)精密大理石直線電機(jī)應(yīng)用方案

所屬行業(yè)：半導(dǎo)體
設(shè)備名稱：LDI曝光機(jī)
行業(yè)應(yīng)用：線路板外層、柔性線路板等
使用環(huán)境：恒溫車間
結(jié) 構(gòu)：大理石龍門
配置說(shuō)明：KYAC4000系列電機(jī)、RSF光柵編碼器、Rexroth/THK導(dǎo)軌、ACS運(yùn)動(dòng)控制器
方案特點(diǎn)：采用智贏無(wú)無(wú)鐵芯直線電機(jī)，最高可以實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)軸千分之一的速度波動(dòng)；ACS的運(yùn)動(dòng)控制提高整個(gè)裝備的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性；專業(yè)的組裝、設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)確保方案穩(wěn)步推進(jìn)；雷尼紹激光干涉儀提供運(yùn)動(dòng)精度報(bào)告。